工业 - 半导体晶圆厂
型号 发射器 冷却 EB，KV. IB，A Po（千瓦）
6696 钍 水 16. 11. 80
6696A 钍 水 15. 7. 80
RS3060CJ. 钍 水 14. 21.1. 100
豫191A 钍 水 4.9 2.2 7.5
YU191B型 钍 水 4.9 2.2 7.5
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